美國ALICAT  MCD/MCRD 雙向質量流量控制器產品概述：

Alicat 的 MCD 系列數字式雙向質量流量控制器可通過定制化 的高速比例調節閥、正向或反向精測量與控制過程氣體的質 量流量、體積流量和壓力。采用雙閥門設計模式，一臺閥門專 門用于控制進氣、另一臺用于排氣，實現了僅用一臺 MCD 便 可同時控制開放式或密閉容器內上游、下游端流量，以及正 壓、背壓。

Alicat 的 MCD 系列雙閥門質量流量控制器采用專有的內部補 償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動， 充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。*有 Alicat 質 量流量計&質量流量控制器均具有 NIST 可溯源校準證書。

Alicat 的 MCD 系列雙向質量流量控制器配有集成式多功能數字顯示屏，用戶無需使用電腦，僅通過屏幕按 鈕操作便可控制設定值及 PID 閥門調節。內置 98 種標準氣體供選擇，同時開放模擬通訊和 RS-232 數字通 訊模式。另有各類定制化選項供特殊項目需求，如：用于危險環境的 ATEX(歐洲)1 類 2 區和 CSA(美國)1 類 2 區認證產品等。另有耐腐蝕系列(MCDS)、低壓損系列(MCDW)雙向流量控制器可選。

美國ALICAT  MCD/MCRD 雙向質量流量控制器產品應用：

Alicat 的 MCD 系列雙向質量流量控制器廣泛應用于各行業領域，如：科學研究、泄漏測試、環境監測、真空 鍍膜、半導體、汽車知道、光伏、燃料電池、光線制造、計量以及過程工藝氣體測量等。雙閥設計、多變量 測量&控制、多種氣體標定以及 200:1 量程可調比使 MCD 已然成為一臺通用型設備，可取代多臺設備發揮的 功效。很高可達 0.4%的精度、0.2%重復性及不到 100 毫秒的控制響應時間很大程度優化了氣體控制過程。

MCD 系列雙向質量流量控制器可測量與控制從-0.5 ～ +0.5 SCCM 到-3000 ～ +3000 SLPM 的滿量程的任何流量。

美國ALICAT  MCD/MCRD 雙向質量流量控制器參數：

0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 3000 slpm 滿量程

精度(調零后標準條件下)：±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.) (注：該處 F.S.為雙向滿量程之和)

重復性： ± 0.2% F.S

零點漂移&滿量程漂移： 0.02% F.S / oC / Atm

工作范圍 / 量程可調比： -100 ～ 100 F.S / 200:1

很大可控流量 ：102.4% F.S

典型響應時間： 100 毫秒(可調整)

啟動預熱時間： < 1 秒

標準工況： (STP) 25oC & 14.696 psia、20oC & 14.696 psia、0oC & 14.696 psia (三種工況供切換)

工作溫度： ?10 ~ +50 oCelsius

工作濕度范圍 (非冷凝)： 0 ~ 100

內部很大工作壓力(靜壓)： 145 psig

很限壓力： 175 psig

對安裝方式/方向的要求： MCD 系列質量流量控制器 無 ；MCRD 系列質量流量控制器 閥門須垂直安裝

閥門狀態： 閥門常閉

防護等級： IP40

材質：MCD: 303 & 302 不銹鋼, Viton?, 硅膠RTV (橡膠), 玻璃增強尼龍, 鋁 , 黃銅, 430FR 不銹鋼, 硅, 玻璃 MCRD: 303 & 302不銹鋼, Viton?, 硅膠RTV (橡膠), 玻璃增強尼龍, 鋁, 416不銹鋼, 鎳, 硅, 玻璃